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本发明涉及一种利用离子注入增大阶梯区域接触窗口的方法，所述方法包括如下步骤：形成阶梯堆栈；对上述阶梯堆栈进行阶梯刻蚀，形成阶梯区域；对所述阶梯区域进行离子注入，在阶梯区域分别形成呈阶梯状分布的注入氧化物层和注入氮化物层；对离子注入后的阶梯区...
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