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描述一种用于测量蒸发材料的沉积速率的方法(100)。所述方法包括：以第一测量M1与第二测量M2之间的一时间间隔ΔT测量(110)沉积速率；以及根据所测量的沉积速率调整(120)时间间隔ΔT。此外，描述一种沉积速率控制系统(200)。所述沉积...
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