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文档序号:17271729
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本文所述的实施例通常涉及用于半导体处理腔室中的具有减少的锌含量的铝合金喷头。喷头可被用于适用于制造低温多晶硅液晶显示器或LTPS有机发光二极管显示器的处理腔室中,所述显示器可通过薄膜晶体管控制。更具体地说,本文所述的实施例涉及锌减少的喷头。...
该专利属于应用材料公司所有,仅供学习研究参考,未经过应用材料公司授权不得商用。
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