下载具有GAAS作为牺牲层的Ge纳米线晶体管的技术资料

文档序号:17269468

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一种装置,包括三维半导体主体,三维半导体主体包括沟道区和布置在沟道区的相对侧上的结区,三维半导体主体包括多个纳米线,纳米线包括布置在结区中由第二材料分离的相应的平面中的锗材料,其中第二材料的晶格常数类似于锗材料的晶格常数;以及布置在沟道区上...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。

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