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本发明公开了一种调节平台，包括：相对设置的上平台和下平台；至少三个粗级驱动腿，所述粗级驱动腿包括力矩电机、与所述力矩电机的转子固定连接的丝杠轴和与所述丝杠轴螺纹连接的移动套筒；至少三个精级驱动腿，所述精级驱动腿包括直线电机、与所述直线电机的...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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