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一种靶材及其形成方法、靶材组件及其形成方法，其中，靶材用于装载于溅射腔室内，靶材包括：溅射面，所述溅射面具有若干凸起，相邻凸起之间具有凹槽；所述溅射腔室内具有若干第一磁场区和若干第二磁场区，所述第一磁场区的磁场强度大于相邻的第二磁场区的磁场...
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