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本发明公开一种水冷式表面波等离子体发生装置。水冷式表面波等离子体发生装置的特征在于包括：传输电磁波的导波管、一端部与所述导波管电磁耦合使得在所述导波管内传输的电磁波能够流入的电介质管、具有中空的管形状，包覆所述电介质管的整个或部分长度使得管...
该专利属于韩国基础科学支援研究院所有，仅供学习研究参考，未经过韩国基础科学支援研究院授权不得商用。

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