下载具有3D结构的半导体存储器装置的技术资料

文档序号:17252203

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一种具有三维(3D)结构的半导体存储器装置,其包括:单元区域,其设置在衬底上方、包括单元结构;外围电路区域,其设置在衬底和单元区域之间;上部布线结构,其设置在单元区域上方;主沟道膜和虚拟沟道膜,其通过单元结构形成。其中虚拟沟道膜适于电联接上...
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