下载垂直存储器件及其制造方法的技术资料

文档序号:17213214

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公开了一种垂直存储器件及其制造方法。垂直存储器件可以包括:衬底、在衬底上的栅极堆叠结构和沟道结构、以及在栅极堆叠结构与沟道结构之间的电荷俘获结构。栅极堆叠结构包括在衬底上在垂直方向上彼此交替地堆叠使得单元区域和单元间区域在垂直方向上交替地布...
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