专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
三星电子株式会社
>
垂直存储器件及其制造方法技术
>技术资料下载
下载垂直存储器件及其制造方法的技术资料
文档序号:17213214
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
公开了一种垂直存储器件及其制造方法。垂直存储器件可以包括:衬底、在衬底上的栅极堆叠结构和沟道结构、以及在栅极堆叠结构与沟道结构之间的电荷俘获结构。栅极堆叠结构包括在衬底上在垂直方向上彼此交替地堆叠使得单元区域和单元间区域在垂直方向上交替地布...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。