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本发明提供了具有增大面密度的衬底支撑件及其相应制造方法，提供了用于衬底处理系统的衬底支撑件，衬底支撑件包括主体和台面。台面分布在所述主体上并在远离所述主体的方向上从所述主体延伸。所述台面被构造成支撑衬底。台面中的每一个包括接触所述衬底并支撑...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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