下载一种微型磁通门传感器的技术资料

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本实用新型涉及一种微型磁通门传感器,包括相互键合的第一高阻硅片和第二高阻硅片,第一高阻硅片和第二高阻硅片的对合面之间具有铁芯腔,铁芯腔的外周围绕设置有多个填充有线圈材料的螺线管腔,铁芯腔的一端开口设置,铁芯腔内插设有带材磁芯,自铁芯腔的开口...
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