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本发明涉及电子衍射仪，提供一种可实现缺陷自动调控的电子衍射仪，包括真空样品室，还包括检测光路、缺陷调控光路以及处理单元，检测光路的三倍频激光由第一入射窗口透射至真空样品室内，缺陷调控光路的二倍频激光由第二入射窗口透射至真空样品室内的样品台上...
该专利属于武汉大学所有，仅供学习研究参考，未经过武汉大学授权不得商用。

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