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一种晶圆承载台，包括旋转轴；所述旋转轴上固定有一个晶圆承载台；所述晶圆承载台上设有8个圆环形开口晶圆槽；所述8个圆环形开口晶圆槽呈正方形排列，两两一边，晶圆槽开口方向与其所在的一边垂直向外；所述晶圆槽向内设有至少两挡台阶，以放置不同尺寸的晶...
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