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一种基板对准及检测装置与基板处理机台，应用于单片式基板的处理工艺。基板对准及检测装置包括基座、保持单元以及检测单元。保持单元设置于基座，用以保持基板。检测单元设置于基座，用以对基板进行至少基板对准程序或基板损伤检测。...
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