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本发明涉及一种多孔硅薄膜的制备装置及其制备多孔硅薄膜的方法，该制备装置包括硅片安装装置、清洗腐蚀一体化槽体，所述的硅片安装装置包括硅片安装槽、传送带、抽真空设备，所述的传送带装载有若干个硅片安装槽且配有可控制传送带行程的控制器，所述的硅片安...该专利属于中国科学院宁波材料技术与工程研究所;宁波升日太阳能电源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院宁波材料技术与工程研究所;宁波升日太阳能电源有限公司授权不得商用。