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本发明揭示一种用于以经光谱滤波的照明源来照明样本的系统，所述系统包含经配置以产生具有第一组波长的照明光束的照明源。此外，所述系统包含波长滤波子系统、样本载台、照明子系统、检测器，及用以聚焦来自一或多个样本的表面的照明且将所述聚集的照明聚焦到...
该专利属于科磊股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过科磊股份有限公司授权不得商用。

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