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文档序号:17114556

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一种半导体器件包括非易失性存储器和逻辑电路。所述非易失性存储器包括堆叠结构,该堆叠结构包括自衬底顺序堆叠的第一绝缘层、浮置栅极、第二绝缘层、控制栅极和第三绝缘层;擦除栅极线;以及字线。所述逻辑电路包括场效应晶体管,该场效应晶体管包括栅电极。...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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