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本发明提供一种配置IO通道的方法，包括在上位机配置文件中增加字段以区别不同腔室所对应的IO通道参数信息，从而提高了配置IO通道的灵活性。另外，本发明还提供一种半导体加工方法。...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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