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一种调节尤其是光刻设备(100A、100B)的光学装置(200)的方法，所述光学装置包括可移动部件(326，700)、参考部件(318，346，702)和光学部件(202，706)，其中可移动部件(326，700)由机械操作连接件(328，...该专利属于卡尔蔡司SMT有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡尔蔡司SMT有限责任公司授权不得商用。
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一种调节尤其是光刻设备(100A、100B)的光学装置(200)的方法，所述光学装置包括可移动部件(326，700)、参考部件(318，346，702)和光学部件(202，706)，其中可移动部件(326，700)由机械操作连接件(328，...