下载片材剥离装置及剥离方法的技术资料

文档序号:17102956

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片材剥离装置(10)具备:粘贴单元(20),其将剥离用带(PT)向接合片材(AS)粘贴;拉拽单元(30),其对粘贴于接合片材(AS)的剥离用带(PT)施加张力,将接合片材(AS)从被粘物(WF)剥离;移动限制单元(40),其限制被粘物(WF...
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