下载存储器及其形成方法、半导体器件的技术资料

文档序号:17102085

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本发明提供了一种存储器及其形成方法、半导体器件。利用定义出字线导体的字线掩膜自对准地形成第一隔离屏障,并通过形成增厚层以增加第二隔离屏障的形成基底的厚度,以使形成在形成基底中的第二隔离屏障的顶表面高于第一隔离屏障的顶表面。如此,不仅可利用相...
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