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垂直存储器件制造技术
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文档序号:17102080
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一种垂直存储器件包括:包括单元区和外围电路区的衬底,在基本上垂直于衬底的上表面的垂直方向上顺序地堆叠在衬底的单元区上的栅电极,在单元区上并在垂直方向上延伸穿过栅电极的沟道,在外围电路区上并在垂直方向上延伸的第一下接触插塞,在外围电路区上与第...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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