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本发明公开了一种紫外探测器及其制作方法，所述制作方法包括：提供一衬底；在所述衬底表面形成氧化锌层；对所述氧化锌层的表面进行氟修饰处理，使得所述氧化锌层具有含氟的官能团；在所述氧化锌层的表面形成预设图形结构的电极，所述电极表面具有In粒；其中...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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