下载一种激光干涉仪自动对光的测量方法的技术资料

文档序号:17029982

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本发明涉及机械工程领域,并涉及机械加工后的检测,具体涉及一种激光干涉仪自动对光的测量方法,本发明包括干涉仪,所述干涉仪包括干涉镜、反射镜、激光发生器以及连接激光发生器和反射镜的光纤,本发明中当镜组的测量角度发生改变时,只需通过伺服电机控制干...
该专利属于北京理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京理工大学授权不得商用。

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