下载一种用于制造半导体结构的方法的技术资料

文档序号:17010080

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本发明的一些实施例揭露一种用于制造半导体结构的方法。所述方法包含:提供上面具有多个裸片的半导体衬底;分注底胶材料及模塑料以填充在所述裸片之下与在所述裸片之间的空间;设置暂时载体在所述裸片上方;薄化所述半导体衬底的厚度;在所述经薄化半导体衬底...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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