下载一种套刻误差量测和问题评估的方法的技术资料

文档序号:17005693

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本发明提供一种套刻误差量测和问题评估的方法,包括:输入套刻误差量测方案,输入全部套刻误差量测标识信息,输入目标上下限以及套刻误差异常评估标准,完成数据收集,将量测值与上下限对比,超出的数据点标记为问题点,根据评估标准,判断是否需增加新的数据...
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