专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
上海华力微电子有限公司
>
一种套刻误差量测和问题评估的方法技术
>技术资料下载
下载一种套刻误差量测和问题评估的方法的技术资料
文档序号:17005693
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种套刻误差量测和问题评估的方法,包括:输入套刻误差量测方案,输入全部套刻误差量测标识信息,输入目标上下限以及套刻误差异常评估标准,完成数据收集,将量测值与上下限对比,超出的数据点标记为问题点,根据评估标准,判断是否需增加新的数据...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。