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一种靶材组件的焊接方法,包括:提供靶材和背板,所述靶材具有第一焊面,所述背板具有第二焊面;采用摩擦焊接工艺焊接第一焊面和第二焊面。所述靶材组件的焊接方法提高了靶材和背板的焊接性能和焊接效率,且环保安全。从而提高了靶材组件的焊接可靠性。...该专利属于宁波江丰电子材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁波江丰电子材料股份有限公司授权不得商用。
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