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本申请实施例公开了一种沟道孔底部刻蚀方法，该方法在对沟道孔底部进行刻蚀之前，在衬底表面上形成刻蚀保护层。如此，当对沟道孔底部进行刻蚀时，该刻蚀保护层能够保护其下方的硬掩膜层，减少沟道孔底部刻蚀过程对硬掩膜层的损耗，如此可以增加后续制程重复循...
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