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本实用新型涉及一种基于反射式达曼光栅分束的激光干涉微纳加工装置，基于反射式达曼光栅的衍射分光特性，将经过准直扩束、光束整形的单束激光分成振幅强度相同的多束相干光，再经过反射镜反射后，将多束相干光会聚到待加工材料表面干涉，得到干涉激光条纹从而...
该专利属于长春理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过长春理工大学授权不得商用。

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