基于反射式达曼光栅分束的激光干涉微纳加工装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种基于反射式达曼光栅分束的激光干涉微纳加工装置，基于反射式达曼光栅的衍射分光特性，将经过准直扩束、光束整形的单束激光分成振幅强度相同的多束相干光，再经过反射镜反射后，将多束相干光会聚到待加工材料表面干涉，得到干涉激光条纹从而加工出周期性平行沟槽微纳结构，沟槽的间距可通过改变反射镜的角度与位置进行调整，加工出周期可控的微纳结构。本实用新型专利技术比传统的分光装置操作简单，而且固定稳定可靠，在多光束干涉时优势更加明显、且分光后的反射镜都是对称的便于加工周期的变换和调整。

Laser interference micro nano machining device based on reflection type Dammam grating beam splitter

The utility model relates to a laser reflection Dammam grating beam interference device micromachining based on diffraction reflection Dammam grating spectral characteristics based on the single laser beam collimation, beam shaping into the same amplitude multi beam coherent light, through the mirror reflection, the coherent light beam converged to the material to be processed by the laser interference fringe surface interference, thus processing periodic parallel grooves micro nano structure, the groove spacing can be adjusted by changing the angle of the reflector and position, processing cycle controllable micro nano structure. The utility model has the advantages of simple operation, stable and reliable operation compared with the traditional light splitting device, and more obvious advantages when multi beam interference occurs, and the mirror after splitting is symmetrical, which facilitates the transformation and adjustment of the processing cycle.

【技术实现步骤摘要】
基于反射式达曼光栅分束的激光干涉微纳加工装置
本技术属于激光干涉微纳加工领域，具体涉及一种基于反射式达曼光栅进行激光干涉加工的装置和方法。
技术介绍
激光干涉微纳加工技术是利用两束或多束激光在材料表面产生干涉，形成周期性强弱相间的能量分布，进而实现激光对材料的三维刻蚀。通过控制激光束的方位角、偏振方向、入射角、强度和曝光时间等工艺参数，利用多光束激光干涉加工技术在材料表面获得特定尺寸的微纳结构。这种技术与传统的激光直写微纳加工相比，具有加工面积大、效率高、低成本、高精度等优势。现有技术中，激光干涉微纳加工的分光技术都是利用传统的半反半透分光镜进行分光，不可避免地引入光谱色散,导致脉冲发生畸变,且需要精确控制入射角，并需要多个分光镜和反射镜进行光路的搭建，一般采用可移动式固定支架进行镜片的固定和调整，这个调整过程繁琐复杂，镜片的定位不可靠、不稳定，效率很低，因此目前仍局限于实验室装置水平，不能实现移动功能，达不到产品化要求。而采用达曼光栅对作为分光器却可以避免这一现象。达曼光栅是一种空间坐标调制型二元相位光栅,它可以按照要求把入射光分成强度均等、间隔相同的出射阵列，这就很好的避免了传统本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于反射式达曼光栅分束的激光干涉微纳加工装置，该装置包括激光器(1)、准直扩束系统(2)、光束整形器(3)、反射式达曼光栅(4)、第一反射镜(5)、第二反射镜(6)、第三反射镜(7)、第四反射镜(8)，第一滑道(9)、第二滑道(10)，第一相位调制器(11)、第二相位调制器(12)，待加工材料(13)，其特征在于：基于反射式达曼光栅的分光特性，使用反射式达曼光栅(4)将经过准直扩束系统(2)、光束整形器(3)的单束激光分成强度相同的多束相干光，再经过第一反射镜(5)、第二反射镜(6)、第三反射镜(7)、第四反射镜(8)、第一相位调制器(11)、第二相位调制器(12)，将多束相干光会合于待加...

【技术特征摘要】
1.一种基于反射式达曼光栅分束的激光干涉微纳加工装置，该装置包括激光器(1)、准直扩束系统(2)、光束整形器(3)、反射式达曼光栅(4)、第一反射镜(5)、第二反射镜(6)、第三反射镜(7)、第四反射镜(8)，第一滑道(9)、第二滑道(10)，第一相位调制器(11)、第二相位调制器(12)，待加工材料(13)，其特征在于：基于反射式达曼光栅的分光特性，使用反射式达曼光栅(4)将经过准直扩束系统(2)、光束整形器(3)的单束激光分成强度相同的多束相干光，再经过第一反射镜(5)、第二反射镜(6)、第三反射镜(7)、第四反射镜(8)、第一相位调制器(11)、...

【专利技术属性】
技术研发人员：李永亮，李林蔚，王斯琦，李仕明，王渊博，白冲，雷雨，
申请(专利权)人：长春理工大学，
类型：新型
国别省市：吉林,22