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固化涂膜的形成方法技术
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文档序号:16836161
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本发明的目的是提供固化涂膜的形成方法,利用该方法即使在基板上形成有由电路、覆盖膜等产生的台阶部、盲导孔等凹部,也能够使涂膜的厚度均一化。固化涂膜的形成方法的特征在于,具有:在涂布对象表面具有10μm~200μm的高低差的基板上,通过使用喷射...
该专利属于株式会社田村制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社田村制作所授权不得商用。
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