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本发明涉及缺陷检查方法及其设备。缺陷检查设备(10)包括第一细长光源(14)以及其中形成有通孔(30)的机器底座(12)。在通孔(30)内设置有第二细长光源(16)和半反射镜(38)。来自第一细长光源(14)的第一细长光(L1)直接入射到待...
该专利属于本田技研工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过本田技研工业株式会社授权不得商用。

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