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本发明公开材料微观表面共型镀膜系统，涉及属于表面共型镀膜技术领域。该系统包括：化学气相沉积反应腔室，与反应腔室侧面相连通的进气供给系统，位于反应腔室侧面的真空控制系统，位于反应腔室上部的电热合金丝加热系统，位于反应腔室下部的循环水冷却系统，...
该专利属于大连理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连理工大学授权不得商用。

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