下载半导体装置的技术资料

文档序号:16820985

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本发明提供了一种半导体装置,其包括:衬底上的绝缘层;第一沟道图案,其位于绝缘层上,并且接触绝缘层;第二沟道图案,其位于第一沟道图案上并且彼此水平地间隔开;栅极图案,其位于绝缘层上,并且包围第二沟道图案;以及各个第二沟道图案之间的源极/漏极图...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。

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