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本发明公开了一种高精度、高负载直线位移平台，步进电机通过联轴器与蜗杆轴连接，蜗杆和蜗杆轴刚性固联，蜗轮和蜗杆啮合，输出较大的传动比，蜗轮通过蜗轮轴与丝杠连接，蜗轮轴另外一端连接有高精度位置传感器，丝杠驱动载物台运动，载物台固定在高精度、高负...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

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