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本发明提供一种背板及其制造方法以及靶材组件的制造方法,所述背板用于与靶坯焊接形成靶材组件,所述背板包括:焊接面;凸出于焊接面上的多个环形凸齿,环形凸齿呈相互间隔的同心排布;环形凸齿内具有一个环形第一凹槽,且环形第一凹槽的侧壁与环形凸齿的侧壁...该专利属于宁波江丰电子材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁波江丰电子材料股份有限公司授权不得商用。
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