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发明构思的实施方式提供一种天线、包括天线的微波等离子体源、包括天线的等离子体处理装置以及半导体器件的制造方法。天线包括具有多个输出狭缝的下环以及设置在下环上的上环。上环具有从上环外部传送微波功率到下环上的输入狭缝。上环配置为关于下环旋转。...
该专利属于三星电子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三星电子株式会社授权不得商用。

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