下载FINFET结构及其方法的技术资料

文档序号:16758897

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本发明实施例提供了用于FinFET S/D部件的独特结构的方法和结构,其描述了一种半导体器件,该器件包括具有从其延伸的鳍的衬底,鳍包括沟道区以及与沟道区的任一侧相邻并位于其上的源极区和漏极区。在各个实施例中,栅极结构设置在沟道区上方,并且栅...
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