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本发明包含：具有内部空间的第一管；基板固持器，其中多个基板垂直地堆叠在第一管的内部空间中，基板固持器界定多个处理空间，基板在多个处理空间中个别加工；具有多个主要注入孔的气体供应单元，多个主要注入孔中的每一者经垂直界定以对应于处理空间中的每一...
该专利属于株式会社EUGENE科技所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社EUGENE科技授权不得商用。

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