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一种半导体结构及其制造方法技术
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文档序号:16719246
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本发明提供一种半导体结构及其制造方法,所述方法包括步骤:S1:提供一表面设有导电互连结构的衬底,所述导电互连结构包括第一导电层,所述第一导电层包括若干分立设置的线路结构;S2:在所述线路结构暴露的表面形成绝缘被覆层,所述绝缘被覆层在所述线路...
该专利属于睿力集成电路有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过睿力集成电路有限公司授权不得商用。
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