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【课题】能够在不移动和不转动工件的情况下，将第一掩膜与第二掩膜、第一掩膜以及第二掩膜与工件进行对准。【解决手段】具有使第一掩膜M1可沿xy平面移动的同时沿xy平面转动的第一掩膜台100；以及使第二掩膜M2可沿xy平面移动的同时沿xy平面转动...
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