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本发明揭示一种用于固定晶片的设备，其包含具有表面的卡盘、在所述卡盘中延伸穿过所述卡盘的所述表面的多个通孔、固定真空波纹管及多个浮动空气轴承，其中所述固定真空波纹管及所述多个浮动空气轴承的相应浮动空气轴承各自个别地布置于所述多个通孔的单独通孔...
该专利属于科磊股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过科磊股份有限公司授权不得商用。

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