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文档序号:16671738

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一种半导体器件,该半导体器件包括具有第一部分和第二部分的衬底。耦合至该衬底的该第一部分的是能够提供第一应力信号的至少一个第一变形应力传感器,而耦合至该衬底的该第二部分的是能够提供第二应力信号的至少一个第二变形应力传感器。提供了一种处理电路,...
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