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半导体器件及其制造方法技术
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文档序号:16664420
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本公开涉及半导体器件及其制造方法,例如,提供了一种半导体器件,其包括能够降低光接收元件的制造成本并改进光接收元件的光学性能的光接收元件。例如,形成Ge光电二极管的结构本体的p型锗层、本征锗层和n型锗层根据连续选择性外延生长来形成。具有开口部...
该专利属于瑞萨电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过瑞萨电子株式会社授权不得商用。
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