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本实用新型属于半导体制造领域，提供一种外延生长用石墨承载盘，其包括一盘体及分布于所述盘体上表面的若干个用于承载晶片的晶圆凹槽，所述晶圆凹槽以所述盘体为中心排列，其特征在于：所述晶圆凹槽底部具有复数个孔洞结构以及与所述孔洞结构对应的可拆卸的栓...
该专利属于安徽三安光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽三安光电有限公司授权不得商用。

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