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本实用新型涉及一种大面积钙钛矿薄膜的制备设备，包括真空腔，真空腔内设置有用于放置衬底的衬底加热器；衬底加热器的下方真空腔内设置有第一蒸发壳和第二蒸发壳，第一蒸发壳套嵌在第二蒸发壳的上端，第一蒸发器和衬底加热器之间设置有挡板；第一蒸发壳的底部...
该专利属于常州大学所有，仅供学习研究参考，未经过常州大学授权不得商用。

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