大面积钙钛矿薄膜的制备设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种大面积钙钛矿薄膜的制备设备，包括真空腔，真空腔内设置有用于放置衬底的衬底加热器；衬底加热器的下方真空腔内设置有第一蒸发壳和第二蒸发壳，第一蒸发壳套嵌在第二蒸发壳的上端，第一蒸发器和衬底加热器之间设置有挡板；第一蒸发壳的底部设置有第一加热器，第一蒸发壳连接有第一载气管道，第一载气管道与外部的载气气源连通；第二蒸发壳的底部设置有第二加热器，第二蒸发壳连接有第二载气管道，第二载气管道与外部的载气气源连通。本实用新型专利技术的大面积钙钛矿薄膜的设备，通过载气经由喷头将反应物种喷至衬底上，反应形成钙钛矿薄膜，大大提高了钙钛矿薄膜大面积沉积均匀性。

Preparation equipment of large area Perovskite Thin Film

Preparation equipment of the utility model relates to a large area of Perovskite Thin Films, including a vacuum chamber, a substrate heater for placing a substrate provided with a vacuum chamber; the vacuum chamber below the substrate heater is provided with a first shell and a second shell evaporation evaporation, evaporation of the first shell cover is embedded in the shell of the top second evaporation, a baffle plate is arranged between the first evaporator and the substrate heater; the first evaporation at the bottom of the shell is provided with a first heater, the first evaporation shell is connected with the first carrier gas pipeline, gas pipeline carrying the first carrier gas is communicated with an outer; second evaporation at the bottom of the shell is equipped with second heaters, second evaporation shell connected with second gas pipeline, gas pipeline carrying second carrier gas with the external connection. The large-area Perovskite Thin film equipment of the utility model sprays the reactive species onto the substrate through the spray head through the carrier gas, and forms a perovskite thin film, which greatly improves the large-area deposition uniformity of Perovskite Thin Films.

【技术实现步骤摘要】
大面积钙钛矿薄膜的制备设备
本技术涉及太阳能电池
，尤其涉及一种大面积钙钛矿薄膜的制备设备。
技术介绍
钙钛矿薄膜太阳能电池作为下一代高效薄膜太阳能电池，其发展非常迅速，2012年公开发表了第一个固态钙钛矿太阳能电池其效率9.7%，5年时间内，小面积钙钛矿薄膜太阳能电池效率达到21%，目前，已经开发出一些替代旋涂的产业化方法，如热喷涂发，热蒸发法，CVD法等。但是这些高效电池都是用旋涂法制备的，无法进行大面积产业化。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是：克服现有技术的不足，提供一种大面积钙钛矿薄膜的制备设备，解决钙钛矿太阳能电池不能大面积制备的缺陷。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：方案一：一种大面积钙钛矿薄膜的制备设备，包括真空腔，所述真空腔内设置有用于放置衬底的衬底加热器；所述衬底加热器的下方真空腔内设置有第一蒸发壳和第二蒸发壳，所述第一蒸发壳的上端呈开口状，所述第二蒸发壳的上端面竖直设置有多根气管，所述第一蒸发壳套嵌在第二蒸发壳的上端，各气管的上端从第一蒸发壳的底面穿过后伸出第一蒸发壳；所述第一蒸发器和衬底加热器之间设置有可做开合运动的挡板；所述第一蒸发壳的底部设置有用本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种大面积钙钛矿薄膜的制备设备，其特征是，包括真空腔（1），所述真空腔（1）内设置有用于放置衬底的衬底加热器（2）；所述衬底加热器（2）的下方真空腔（1）内设置有第一蒸发壳（3）和第二蒸发壳（4），所述第一蒸发壳（3）的上端呈开口状，所述第二蒸发壳（4）的上端面竖直设置有多根气管（42），所述第一蒸发壳（3）套嵌在第二蒸发壳（4）的上端，各气管（42）的上端从第一蒸发壳（3）的底面穿过后伸出第一蒸发壳（3）；所述第一蒸发器和衬底加热器（2）之间设置有可做开合运动的挡板（7）；所述第一蒸发壳（3）的底部设置有用于对第一蒸发壳（3）底面进行加热的第一加热器（5），所述第一蒸发壳（3）连接有第一载气...

【技术特征摘要】
1.一种大面积钙钛矿薄膜的制备设备，其特征是，包括真空腔（1），所述真空腔（1）内设置有用于放置衬底的衬底加热器（2）；所述衬底加热器（2）的下方真空腔（1）内设置有第一蒸发壳（3）和第二蒸发壳（4），所述第一蒸发壳（3）的上端呈开口状，所述第二蒸发壳（4）的上端面竖直设置有多根气管（42），所述第一蒸发壳（3）套嵌在第二蒸发壳（4）的上端，各气管（42）的上端从第一蒸发壳（3）的底面穿过后伸出第一蒸发壳（3）；所述第一蒸发器和衬底加热器（2）之间设置有可做开合运动的挡板（7）；所述第一蒸发壳（3）的底部设置有用于对第一蒸发壳（3）底面进行加热的第一加热器（5），所述第一蒸发壳（3）连接有第一载气管道（31），所述第一载气管道（31）与外部的载气气源连通；所述第二蒸发壳（4）的底部设置有用于对第二蒸发壳（4）底面进行加热的第二加热器（6），所述第二蒸发壳（4）连接有第二载气管道（41），所述第二载气管道（41）与外部的载气气源连通。2.根据权利要求1所述的大面积钙钛矿薄膜的制备设备，其特征是，所述第一载气管道（31）的管路上设置有第一气体预热器（11），所述第二载气管道（41）的管路上设置有第二气体预热器（12）。3.根据权利要求2所述的大面积钙钛矿薄膜的制备设备，其特征是，气体预热器包括金属加热体，所述金属加热体内开设有皮亚诺曲线结构气流通道。4.根据权利要求1所述的大面积钙钛矿薄膜的制备设备，其特征是，所述第一蒸发壳（3）上端开口上设置有喷孔板（9），所述喷孔板（9）上开设有若干个第一气孔（91）和第二气孔（92），所述的第一气孔（91）用于通过经气化的固体蒸发源1，所述的第二气孔（92）用于通过经气化的固体蒸发源2，各第一气孔（91）和第二气孔（92）交替间隔分布；所述第二蒸发壳（4）的各个气管（42）上端与第二气孔（92）连接。5.根据权利要求1所述的大面积钙钛矿薄膜的制备设备，其特征是，所述真空腔（1）的下端设置有真空泵组，所述真空泵组与真空腔（1）的内腔连通，所述真空泵组的进口设置有蝶阀；所述真空腔（1）内设置有检测衬底厚度的膜厚计（8）。6.一种大面积钙钛矿薄膜的制备设备，其特征是，包括真空腔（1），所述真空腔（1）内设置有用于放置衬底的衬底加热器（2...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁建宁，王书博，袁宁一，贾旭光，
申请(专利权)人：常州大学，
类型：新型
国别省市：江苏,32