温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请实施例提供了一种化学机械研磨剂，其由下列物质按重量百分比配制而成：单分散纳米氧化硅微球磨料0.01‑30％，氧化剂0.01‑20％，稳定剂0.1‑30％，余量为水。在该化学机械研磨剂中，其磨料为单分散纳米氧化硅微球，该单分散纳米氧化硅...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。