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本发明提供了一种空间光束相位调控器件。利用法布里珀罗谐振腔，来实现对入射光0到360度间任一度数的相位调控；利用介质衬底与介质包覆层，来为相位调控层提供保护与阻抗匹配；利用周期性阵列中不同谐振腔宽度对透射光产生不同相位延时，来实现空间光束相...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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