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树脂覆盖装置制造方法及图纸
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文档序号:16590744
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本发明提供一种树脂覆盖装置,在框架清洗时,抑制涂布于晶片的水溶性树脂的局部剥离,用水溶性树脂良好地覆盖晶片的上表面。该树脂覆盖装置构成为,在环状框架(F)上贴附有保护带(T),用水溶性树脂覆盖贴附于保护带的晶片(W)的上表面,该树脂覆盖装置...
该专利属于株式会社迪思科所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社迪思科授权不得商用。
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